第一颗8英寸硅单晶落地，打响半导体材料产业化新年“第一枪”
2021-02-02 16:52:05
来源：中国电科46所
年伊始，喜讯传来。中国电科46所新材料产业园区内首颗8英寸硅单晶顺利落地。这是一颗具有历史意义的硅单晶，标志着新区建设取得了阶段性成功，将逐步从建设期跨入使用期，为后续相关半导体材料的蓬勃发展提供强大助力。
党的十九届五中全会提出，要加快构建以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局。在实现双循环新发展格局的过程中，高端制造是重要支撑力量。硅单晶生产需使用无尘净化车间，拉晶设备更需要水、电、气等诸多配套设施。为保证设备使用安全并缩短相关配套工期，必须给设备的安装调试和使用预留充足时间。经过周密设计和紧张施工，在各级领导的大力支持和协调下，多部门通力配合，历时近3个月的艰苦奋战，具备直拉硅单晶炉规模生产的新区单晶无尘厂房正式投入使用。
旧貌换新颜的无尘车间，是今后高质量硅单晶研制的基础保障，背后也蕴藏着所有新区建设者的辛勤汗水和无私付出。在基础设施和动力配套完善后，新的单晶炉设备开展了进场安装工作。由于前期的充分准备和对可能遇到问题的准确预判，尽管设备安装过程中遇到了一些难题，但最终都很快得以解决。为了加快工期，新区的工作人员们进入了快进模式，大家几乎全部放弃了休息。在硅单晶组技术人员和其它新区工作人员的努力下，仅用时1个多月，便全部完成了多台套新进单晶炉设备的安装和动力二次配套工作，我们的准备工作和协调配套工作也得到设备厂家的赞许。
由于硅单晶组技术人员此前已对该型单晶炉设备和8英寸硅单晶拉制技术熟练掌握，加之前期准备工作充分到位，在不到一周的时间内便完成了单晶炉热场的安装和煅烧工作。因此在设备和动力配套完备的前提下，关键的单晶拉制工序便手到擒来，第一次拉晶试验便成功拉制出半导体级8英寸硅单晶，为寒冬中的新区增添了一抹亮丽的颜色。
“8英寸硅单晶的顺利拉制，体现了新材料产业园区在厂房基础设施和动力配套保障方面已经基本满足了相应的生产需求，具备了开展硅单晶材料规模化生产的必要条件。团队成员表示，第一棵硅单晶的落地打响了新区半导体材料产业化发展的第一枪，后续，他们将在五中全会精神的指引下，相继将更多台套设备的投入使用，发挥新材料产业园半导体材料发展的基石的作用。
